5月12日，記者從兩江協(xié)同創(chuàng)新區(qū)獲悉，近日，在明月湖畔，由重慶大學高端裝備機械傳動全國重點實驗室、重慶大學國家卓越工程師學院科研團隊完全自主研發(fā)的超高速機械齒輪增速器順利通過客戶的現(xiàn)場驗收并交付。

據(jù)了解，超高速機械齒輪增速器是半導體制造的重要裝備，用于晶圓制造、封裝與測試及輔助設(shè)備優(yōu)化等多個場景。例如，在3D封裝中，該增速器可大幅提升鉆孔效率并減少熱損傷。此外還能優(yōu)化刻蝕機的氣體流量控制，提升刻蝕均勻性等。

超高速機械齒輪增速器示意圖。兩江協(xié)同創(chuàng)新區(qū)供圖

驗收現(xiàn)場，驗收組對裝備性能及指標進行了現(xiàn)場核驗，超高速機械齒輪增速器在核驗過程中完成了1小時48000rpm（轉(zhuǎn)速，即每分鐘旋轉(zhuǎn)的次數(shù)）連續(xù)運轉(zhuǎn)和1小時15000rpm-50000rpm變轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)。增速器振動、溫升及噪音等性能指標均滿足設(shè)計要求。

超高速機械齒輪增速器驗收現(xiàn)場。兩江協(xié)同創(chuàng)新區(qū)供圖

正因超高轉(zhuǎn)速的使用要求，超高速齒輪增速器的振動、噪聲、溫升、密封等面臨極大的研發(fā)挑戰(zhàn)。研發(fā)團隊歷時近7個月時間，先后攻克高速傳動系統(tǒng)振動噪聲控制、滑油系統(tǒng)真空密封與高安全設(shè)計、傳動系統(tǒng)熱平衡控制、增速器監(jiān)測系統(tǒng)設(shè)計等關(guān)鍵技術(shù)，成功研制出滿足設(shè)計要求的超高速機械齒輪增速器機電一體成套裝備。

據(jù)悉，重慶大學高端裝備機械傳動全國重點實驗室定位于空、天、地、海高端裝備精密、重載、高速、高可靠機械傳動核心基礎(chǔ)零部件“卡脖子”問題和重大戰(zhàn)略需求，開展嚙合理論、傳動系統(tǒng)設(shè)計制造及運維核心技術(shù)的基礎(chǔ)和應用基礎(chǔ)研究。

而重慶大學國家卓越工程師學院面向國家重大戰(zhàn)略和區(qū)域經(jīng)濟發(fā)展，構(gòu)建以智慧能源、工業(yè)母機等“N”個國家急需關(guān)鍵領(lǐng)域與智能網(wǎng)聯(lián)新能源汽車、機器人應用創(chuàng)新“2”個自設(shè)特色領(lǐng)域為主的“N+2”學術(shù)架構(gòu)，探索政產(chǎn)學研四維協(xié)同卓越工程人才培養(yǎng)可持續(xù)發(fā)展新機制，強化科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合發(fā)展。下一步，雙方將繼續(xù)攜手共進，探索更多科技成果。（新重慶-重慶日報記者 申曉佳）

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